真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
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旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成，在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙)，轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。
旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。
兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。
而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程，居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程，由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。
當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通，當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。
由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的，如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級(低真空級)由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵，這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度，概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。
因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。
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